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[보도자료] 반도체용 Chemical Filter 개발 2018.02.02
 

반도체용 Chemical Filter 개발

에코프로 반도체 불량원인 화학성분 흡착제거
수입품 비해 50% 이상 저렴


[
출처 : 헤럴드경제 ]

에코프로 (대표 이동채) 화학연구소, 에너지연구소와 공동으로 반도체 에칭(식각 )공정 클린룸에서 생기는 암모니아 , 아황산가스 화학성 분을흡착 제거하는 케미컬 필터를국산화했다고 12 밝혔다.
회사는 화학흡착제 양산을 위해 충북 오창과학산업단지에 들어서는 연구소 공장 (대지면적 1320 ) 상반기 완공할 계획이다 .

 

(하략)