이동채 대표

환경 관련 산업소재전문기업인 에코프로(대표 이동채)는 반도체 생산과정에서 이용되는 온실가스인 PFC(과불화합물)가스를 분당 1만ℓ씩 제거할 수 있는 설비 'PFC가스세척기(PFC Gas Scrubber)'를 세계 최초로 개발했다고 20일 밝혔다.

PFC가스는 반도체나 LCD제조 중 세정이나 증착，식각공정에서 없어서는 안 될 필수물질이다. 그러나 지구온난화에 영향을 주는 정도인 지구온난화지수가 이산화탄소보다 무려 2만4000배 높은 탓에 사용후 제거하도록 권장되고 있다. 회사는 지난 8년간 약 50억원을 투입, 한국화학연구원,삼성엔지니어링과 공동연구를 통해 이 제품을 개발하는 데 성공했다.

이 대표는 이날 본지와 인터뷰를 갖고 "지난 15일 삼성엔지니어링에 첫 장비 납품을 성사시켰다"며 "삼성엔지니어링이 PFC가스세척기와 촉매를 국내 모 대기업의 LCD생산공장에 공급하기 시작한 만큼 올해 약 170억원의 매출이 기대된다"고 말했다. 그는 특히"삼성엔지니어링이 해외 반도체 생산 플랜트 건설에 나설 때 동반진출하기로 협약을 맺었고 중국，대만，싱가포르 수출도 모색하고 있어 향후 2년 내 이 부문에서만 500억원 수준의 매출을 예상하고 있다"고 강조했다.

에코프로가 개발한 이 세척기는 세계 최초로 분당 10㎥(약 1만ℓ)의 가스를 제거할 수 있는 대형제품.PFC가스 제거에 촉매방식을 사용한 것도 돋보인다. 지금까지 1㎥급 소형제품은 일본의 산업용 기계 업체 히타치가 전 세계 시장을 사실상 독점하고 있었던 것은 물론 촉매기술도 유일하게 보유하고 있었다. 이 대표는 "지난 1년에 걸친 삼성엔지니어링 측의 모의시험 결과 99% 이상의 가스 제거 효과가 있는 것으로 나타났다"고 설명했다.

이 제품은 반도체 공장에서 발생하는 PFC가스를 공장 밖으로 뽑아내 처리하는 만큼 기존의 소형 제거설비에 비해 같은 양의 가스를 제거할 때 비용이 50% 수준에 불과하다. 일반적으로 반도체 생산에는 10여가지의 공정이 필요한데 기존의 소형 제거설비로는 공정마다 설비를 옮겨다니며 제거작업을 해야 했다는 것이 회사 측 설명이다.

촉매를 이용한 가스제거방식을 적용한 것도 높은 경쟁력을 갖게 한다. 회사가 자체 개발한 비금속성 촉매를 사용할 경우 섭씨 700도 정도에서 PFC가스를 제거할 수 있다는 것.PFC가스는 보통 섭씨 1300도 이상의 고온에서 파괴되기 때문에 온도를 높이기 위해 많은 에너지가 필요했고 고온조건에서 인체에 해로운 질소산화물이 대량으로 생성되는 등 약점이 적지 않았다.

에코프로는 1998년 설립돼 2006년 하이브리드 자동차 등에 쓰이는 2차 전지에서 전기를 발생시키는 핵심소재인 양극활물질 등을 국내 최초로 국산화, 현재 LG화학에 납품하고 있다. 지난해 회사 전체 매출은 약 290억원.이 대표는 "환경오염을 줄일 수 있는 신기술이 적용된 산업소재를 지속적으로 개발해 나갈 것"이라며 "올해 500억원의 매출을 달성하겠다"고 밝혔다.

[자료출처 : 한국경제 09.05.20일자]